ltcc工艺流程

LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramics)工艺流程是一种低温多层陶瓷烧结技术,用于制造小型、超薄的多层电子元件。以下是LTCC工艺流程的主要步骤:
1. 原料准备 :
将陶瓷粉、玻璃粉和特定的有机粘贴剂按比例混合制成生瓷带。
2. 流延 :
将混合好的原料通过流延成型技术制成生瓷带,要求生瓷带致密、厚度均匀且具有一定的机械强度。
3. 裁片 :
将卷带生瓷带按照所需尺寸裁切成单片,尺寸需略大于最终产品。
4. 打孔 :
在生瓷片上制作通孔或过孔,用于电气互联,孔径大小和位置精度对器件射频性能影响较大。
5. 填孔 :
将过孔填充剂填入通孔中,形成层与层之间的垂直通路。
6. 印刷 :
使用丝网印刷方法,将导电浆料或介质材料印刷在生瓷片上,制作电气互联的导线及元器件。
7. 叠片静压 :
将印刷好的生瓷带按顺序叠加,施加压力形成基板胚体模型。
8. 排胶 :
在烧结前对胚体进行排胶处理,减少基板起翘现象,确保电路传输性能。
9. 烧结 :
将处理好的胚体进行烧结,烧结温度通常在800~1000℃之间。
10. 检测 :
对烧制完成的LTCC成品进行整体检测,检查是否有缝隙、内部结构是否完整,并进行电路稳定性测试。
以上步骤完成后,LTCC基板就可用于制造各种电子元器件和模块。该技术允许在低温下烧结,有利于保持电子元件的性能,并减少生产成本
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